產(chǎn)品介紹
行業(yè)背景：
Spin Rinse Dryer（SRD，半導(dǎo)體甩洗干燥機(jī)）是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的重要設(shè)備，用于去除制程中的化學(xué)溶液和水分，
確保半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。
· 半導(dǎo)體工藝的高潔凈度要求：半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程要求極高的潔凈度，SRD確保在各個(gè)工藝步驟之間將半導(dǎo)體晶圓保持潔凈和干燥。
· 濕法制程中的必要設(shè)備：在芯片制造的濕法制程中，包括清洗、腐蝕和沉積等步驟，需要使用各種化學(xué)溶液。
SRD用于去除這些溶液，并通過(guò)旋轉(zhuǎn)和噴射的方式將晶圓表面的液體去除，然后通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)使其快速干燥。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 高速旋轉(zhuǎn)和精確的控制系統(tǒng)，確?？焖偾揖鶆虻乃Ω尚Ч?
· 先進(jìn)的液體管理系統(tǒng)，可根據(jù)需要進(jìn)行精確的沖洗和干燥。
· 完善的故障記錄系統(tǒng)，保證產(chǎn)品故障定位以及后續(xù)問(wèn)題的快速排查。
· 用戶(hù)友好的界面和自動(dòng)化功能，簡(jiǎn)化操作和維護(hù)過(guò)程。
· 高度可定制化，以適應(yīng)不同應(yīng)用和規(guī)模的需求。
噴淋沖洗
水阻檢測(cè)
高速旋轉(zhuǎn)
熱氮烘干
